- Abstandsbelichtungsanlage
- fустановка бесконтактного экспонирования [бесконтактной фотолитографии]; установка фотолитографии с микрозазором [на микрозазоре]
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen. 2013.
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen. 2013.